1 硅晶圆金刚石抛光液制作的打磨抛光过程包括四个主要步骤粗磨精磨粗抛和精抛2 在粗磨阶段金刚石抛光液制作，使用氧化铝抛光液和研磨垫进行研磨，以去除表面的初始不平整度3 精磨步骤采用金刚石抛光液和研磨垫，进一步提高表面光洁度，去除粗磨留下的微小划痕4 粗抛的目的在于进一步平滑晶圆表面，这通常通过使用高锰；化学抛光是一种利...
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